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Load Board、Probe Card、Burn-in Board 与 Interface Board 的差异

四种半导体测试介面常被混用,但用途、所处测试阶段与设计重点都不同。这页用一张表把差异讲清楚。

介面用途测试阶段设计重点
Load BoardATE 与 DUT 之间的主要介面板最终测试(Final Test)高速讯号完整性、电源分配、与测试机台的机构对位
Probe Card探针与晶圆接触的介面晶圆测试(Wafer Sort)高密度布线、探针平整度、接触阻抗
Burn-in Board高温老化测试时承载元件的板子可靠度验证(Burn-in)耐热材料、长时间稳定性、电源分配
Interface Board连接不同测试模组的转接介面各阶段皆可能使用讯号转接完整性、机构相容性